半导体有机废气怎么处理？半导体废气治理有哪些好办法？-重庆山艺环保工程有限公司

半导体有机废气怎么处理？半导体废气治理有哪些好办法？

2022-05-23 09:43:29　/　作者：废气处理设备公司　/　来源：山艺环保

半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分，在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs，同时废气中还混合了HCl、氨、HF等危险污染物。半导体有机废气怎么处理？半导体废气治理有哪些好办法？下面为您做简单介绍：

半导体有机废气怎么处理？半导体废气治理有哪些好办法？

半导体有机废气处理办法

采用RTO设备处理

RTO蓄热式氧化炉是在高温下将可燃废气氧化成氧化物和水，净化废气，并回收废气分解时所释放出来的热量，废气分解效率达到99%以上，热回收效率达到95%以上。

直接燃烧法处理

有机废气风管废气收集→沸石转轮吸附浓缩→直燃炉（TO）→烟囱排气达标排放。

以上就是《半导体有机废气怎么处理？半导体废气治理有哪些好办法？》的全部内容，山艺环保专注半导体废气处理13年，至今服务于中芯国际、中芯北方、中芯南方、中芯绍兴、集电控股、积塔、有研、华虹、燕东微电子等半导体企业，中芯系覆盖70%以上，拥有众多半导体废气治理案例！如您有半导体废气处理需求，即刻联系我们吧！

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